我國建成首條光刻用石英玻璃基板成套生產(chǎn)線

發(fā)布日期：2016-06-16來源：中國建筑材料集團公司編輯：賈愛萍

[摘要]

　　近日，中國建材集團所屬中國建材總院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術(shù)，在衢州建成了國內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進口的局面。

　　該生產(chǎn)線的建立，是中國建材總院承擔(dān)的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件，市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好、光學(xué)均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點。然而，受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約，我國石英玻璃基板長期依賴進口。

　　經(jīng)過中國建材總院科研人員的不懈努力，最終形成了一套符合我國行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢的獨有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題，同時實現(xiàn)了原材料綠色制造。該項目還引入多刀切割、安全快速磨拋工藝，創(chuàng)造性地開發(fā)了熔拉制坯、數(shù)控倒角等技術(shù)，解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產(chǎn)品加工，中國建材總院形成專利20余項，行業(yè)標準、國軍標及國家標準10余項，開發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產(chǎn)品，不僅逐步替代進口產(chǎn)品，實現(xiàn)了高性能石英玻璃關(guān)鍵材料及制品的國產(chǎn)化，而且還出口到歐洲、日本等國。

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